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自動配氣系統主要用于對氣體的質量流量進行精密控制,配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣體。標準氣體配氣的方法包括稱重法、分壓法、靜態容量法、流量比混合法、滲透法、擴散法、體積比法等。該自動配氣系統采用流量比混合法,是一種動態配氣法,通過嚴格控制一定比例的組份氣體,并加以混合而制定標準氣體。與瓶裝標準氣相比,使用該方法能夠在同一配氣系統上,可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣,配制的目標組分標準氣體濃度可達10-9級且連續可調;可稀釋范圍寬,可以達到1/2000;系統不受環境溫度與壓力變化影 , 可以適用于配制高、低濃度的多種目標組分標準氣體,甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體,具有很好的應用價值;采用氣體質量流量計控制每一路所需的原料氣體的流量,可以控制配制目標組分標準氣體的總流量,實現連續配制并供給目標組分標準氣體,使用方便、靈敏度高、精度高。
0371-60932951流量規格(N2) |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
準確度 |
±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復精度 | ±0.2% F.S. |
工作壓差范圍 | 0.05~0.35Mpa 流量規格≤10SLM |
0.1~0.35Mpa 流量規格>10SLM | |
溫度系數 | 零點:≤±0.05FS/℃; 調節時:≤±0.1FS/℃ |
耐壓 |
3MPa ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡膠; 金屬密封 |
工作環境溫度 | (5~45) ℃ |
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